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原子力显微镜(AFM)
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大型正置金相显微镜
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扫描电子显微镜(SEM)
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化学合成区
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生物间
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低压化学气相沉积系统
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细胞培养间
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实验室简介

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     纳米光机电与生医工程实验室(Nano Opto-mechatronics and Biomedical Engineering Laboratory, NOBELab)由国家级专家领衔,在微纳机电系统(MEMS/NEMS)、高频集成电路设计与可靠度、微流控芯片、化学与生医传感技术、微纳光电磁热力等传感器件等交叉学科领域上开展世界一流研究工作,并同时将研究成果用于开发相关的精密仪器设备。目前,本联合实验室拥有价值近三千万元的全新科研仪器及超净间平台,未来并将搭配由本实验室协助规划筹建约15亿元省级微纳芯片制造平台,共同打造一支具备世界一流竞争力的国际型科研队伍,积极培养交叉学科领域的顶尖科研技术人才,建立世界顶尖的光机电与生医微系统研究中心。

能源及生医流体芯片
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固态光电及自旋电子组件
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纳米机电系统及人工智能结构
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微纳结构
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固态光电及自旋电子组件
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研究成果

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