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仪器设备

（1）实验室现有研发场地约400平米，设备建设总资金约2800万元。
（2）实验室分为微纳制造区、细胞培养及生医检测区、化学合成区、磁性微纳测量区、元件电性测量区和微纳物性检测区。其中：
   ① 微纳制造区配备有电子束图形发生器、无掩膜激光直写机、接触式光刻机、步进式光刻机、双电子束蒸发镀膜系统、磁控溅射镀膜机、低压化学气相沉积系统、微纳等级的3D打印设备、大型正置式金相显微镜、反应式等离子蚀刻机和静电纺丝设备等，可用于微机电、传感器及生物芯片的制备；
   ② 细胞培养及生医检测区配备有基本的生物实验仪器，包括自动化细胞培养系统、倒置荧光显微镜、全波长酶标仪、PCR仪、化学发光成像系统、多参数测试仪、磁刺激设备、热治疗设备、垂直及水平电泳、超低温冰箱等，实验室保存有多种细胞株，为生物分子分类收集的仪器研发提供基础条件；
   ③ 化学合成区配备有电化学工作站、旋转涂胶机、磁力搅拌器、电加热盘、真空干燥机、冷冻干燥机、电镀装置等，为化学传感器的制作提供基础条件；
   ④ 磁性微纳测量区配备有SQUID，振动样品磁强计、纳米磁光克尔效应测量设备、克尔显微镜、磁阻量测设备，各类电磁铁等，可用于量测磁性材料的磁滞回线和磁畴变化；   
   ⑤ 元件电性测量区配备有四点量测系统、无损检测设备、低阻测试系统、霍尔量测设备等，以及锁相放大器、纳伏表、皮安表、AC/DC源表、万用表等高精度电表，用于元件电性测量，包括电阻、电压或通过元件的电流等；
   ⑥ 微纳物性检测区配备有摩擦力显微镜、扫描电子显微镜、能谱仪、椭圆偏光仪/膜厚计、薄膜综合物性分析仪。

扫描电子显微镜+图形发生器+能谱仪

原子力显微镜

无掩膜激光直写机

双电子束蒸发镀膜系统

大型金相显微镜

倒置荧光显微镜

低阻测试系统

半自动键合机

高真空磁控溅射镀膜机

超高真空磁控溅射镀膜机

低压化学气相沉积系统

全波长酶标仪

PCR仪

化学发光系统

光刻机

低温测量平台

芯片薄膜沉积区

光刻显影及纳米材料合成区

精密电性、光学、纳米磁性及纳米力学测量区

生物芯片测试区

自建仪器区

细胞培养间

微纳制造及芯片光刻区

CNC

低温高磁场系统

真空晶圆传输机械手臂