1. 基本情况
段智勇,男,汉族,生于1974.1,四川省旺苍县人,中共党员,工学博士;现为郑州大学物理学院、微电子学院教授,物理电子学科学硕士、电子信息专业硕士研究生导师;国家自然科学基金通讯评审、教育部学位中心学位论文通讯评审、浙江省自然科学基金通讯评审专家;主持国家自然科学基金2项、省级项目2项,参与国家自然科学基金2项;发表科研论文50余篇,其中SCI检索30篇,EI检索22篇;申请中国发明专利13项,已获得授权9项;指导物理电子学专业、仪器仪表工程专业硕士研究生毕业15人,在读11人。
2. 研究领域
(1)微纳加工技术(Nanoimprint Lithography)
(2)微纳金属互连技术(Ag Interconnect)
(3)管道全域检测技术及器件(MEMS/NEMS)
3. 学习经历
2002.03-2005.06 上海交通大学,微纳科学技术研究院,微电子学与固体电子学,博士
1999.09-2002.02 哈尔滨理工大学,应用科学学院,材料物理与化学,硕士
1994.09-1998.07 哈尔滨理工大学,技术物理系,应用物理学,学士
4. 工作经历
2019.08-至今 郑州大学,物理学院(微电子学院),电子科学与测控技术系,教授
2019.04-2019.08 郑州大学,物理工程学院,电子科学与测控技术系,教授
2018.01-2020.12 郑州大学,物理工程学院,电子科学与测控技术系,直聘教授
2012.04-2017.12 郑州大学,物理工程学院,电子科学与技术系,副教授
2005.07-2011.12 郑州大学,物理工程学院,电子科学与技术系,讲师
1998.07-1999.05 东方电气集团东风电机有限公司,计量理化处,无损检测技术员
5. 科研项目
国家自然科学基金联合基金项目,外场辅助和掺杂调控的金属纳米粒子互连热动力学及调控机理研究,编号:U1704155,时间:2018.1-2020.12,金额:51万;
省高校科技创新团队,微纳加工技术与微纳器件,编号:18IRTSTHN016,时间:2018.1-2019.12,金额:100万;
河南省教育厅高等学校青年骨干教师资助计划,超材料微纳结构能流调控金属诱导晶化,编号:2013GGJS-001,时间:2014.1-2016.12,金额:4.8万;
国家自然科学基金面上项目,基于假塑性金属纳米粒子流体的压缩式气压纳米压印研究,编号:51175479,时间:2012.1-2015.12,金额:58万。
6. 科研论文
1.Bin Jia, Lei Shangguan, Qiuen Li, Liuhong Ma, Mengke Li, Yinghui Zhong and Zhiyong Duan*. Improve anisotropy shrinkage and conductivity of Ag interconnected wires by non-contact ultrasonic field. Journal of Physics D: Applied Physics. Vol.52, No.37, 375103. 2019.
2.Qiuen Li, Mengke Li, Bin Jia, Lei Shangguan, Liuhong Ma, Yinghui Zhong, Yufeng Su, Zhiyong Duan*. Sintered Ag nanoparticle ink achieves 50% higher conductivity than bulk Ag in interconnections by doping with In. Applied Physics Express. Vol.12, No.5, 055004. 2019.
3.Peng Wei, Ma Liuhong, Li Mengke, Zhong Yinghui, Shangguan Lei, Cai Yuwei, Duan Zhiyong*. Design of seal ring with rectangular grooves for gas isolation in Nanoimprint Lithography. Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C, Journal of Mechanical Engineering Science. Vol. 233, No.3, 1079-1086. 2019.
4.Shangguan Lei, Ma Liuhong, Li Mengke, Peng Wei, Zhong Yinghui, Su, Yufeng, Duan Zhiyong*. Study on the shrinkage behavior and conductivity of silver microwires during electrostatic field assisted sintering. Journal of Physics D: Applied Physics. Vol.51, No.18. 185603. 2018.
5.Chaoran Liu, Yufeng Su, Jinzhao Yue, Junjie Wang, Weiwei Xia, Dongxue Li, Wen Wang, Pan Wang, Zhiyong Duan*. Vibration analysis of self-adaptive piston in Compressional Gas Cushion Press nanoimprint lithography system. Industrial Lubrication and Tribology. Vol.69, Iss.4, 591-597. 2017.
6.Wang Wen, Su Yufeng, Liu Chaoran, Li Dongxue, Wang Pan, Duan Zhiyong*. The Morphology of Patterning with Metal nanoparticles in Nanoimprint. Chinese Physics Letters. Vol.32, No.12, 128102. 2015.
7.Wang wen, Zhong Yinghui, Li Dongxue, Wan Pan, Cai Yuwei, Lu Zeying, Duan Zhiyong*. Thermal behavior from the silver nanoparticles to micro/nano wires under low-temperature sintering. Journal of Electronic Materials. Vol. 44, Issue 12, 4920-4927. 2015.
8.Li Dongxue, Su Yufeng, Xia Weiwei, Liu Chaoran, Wang Wen, Wang Pan, Duan Zhiyong*. Analysis of slumping on nanoimprint patterning with pseudoplastic metal nanoparticle fluids. RSC Advances. Vol.4, Issue 57. 30402-30411, 2014.
9.Liu Chaoran, Yue Jinzhao, Li Tianhao, Xia Weiwei, Li Dongxue, Duan Zhiyong*. Vibration attenuation analysis of compressional gas cushion press nanoimprint lithography system. Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C, Journal of Mechanical Engineering Science.Volume 228, Issue 9. 1634-1642. 2014.
10.Weiwei Xia, Yufeng Su, Tianhao Li, Chaoran Liu, Dongxue Li, Zhiyong Duan*. Study of Demolding in Nanoimprint Lithography with Pseudoplastic Metal Nanoparticle Fluids. RSC Advances. Vol.3, Issue 39, 17851-17859, 2013.
11.Li Tianhao, Zheng Guoheng, Liu Chaoran, Xia Weiwei, Li Dongxue, Duan Zhiyong*. Analysis of Pressure Distribution In Gas Cushion Press Nanoimprint Lithography, IEEE Transactions on Nanotechnology, VoL.12, issue 4. 589-595. 2013.
12.夏委委,郑国恒,李天昊,刘超然,李冬雪,段智勇*.假塑性流体纳米压印中影响填充度的因素.物理学报, Vol.62, No.18, 188105. 2013.
13.李天昊,郑国恒,刘超然,夏委委,李冬雪,段智勇*.掩膜板凸出环隔离压缩式纳米压印施压气体的研究.物理学报,Vol.62, No.6, 068103. 2013.
7. 教学研究
1.段智勇,马刘红,李梦珂,钟英辉,路书祥.物理院系中工科专业发展.电气电子教学学报.第40卷,第4期,8-10,31. 2018.
2.段智勇,弓巧侠,罗荣辉,郭茂田,袁斌.集成电路设计人才培养课程体系改革,电气电子教学学报,第32卷,第5期,25-26,2010.
3.段智勇,弓巧侠,罗荣辉,郭茂田,袁斌.依托新课改加强集成电路设计人才培养,郑州大学学报,第23卷第1期,46-49,2010.
8. 获得奖励
郑州大学优秀共产党员 2019年
河南省优秀硕士学位论文指导教师 2013年、2016年
2011-2015郑州大学研究生优秀指导教师 2016年
河南省青年骨干教师 2013
郑州大学“三育人”先进个人 2013年
郑州大学青年骨干教师 2012年
9. 发明专利
1.段智勇,邵倩倩,李韦烨,杨琳,李梦珂,马刘红,钟英辉,苏宇锋,郑国恒.一种振动波微纳电容传感器及流体管道振动波监测阵列.授权日期:2020.01.02,中国,201811568740.X.
2.段智勇,杨国鑫,陈利,杨琳,李梦珂,马刘红,钟英辉,苏宇锋,郑国恒.流体输运管道节点适用的多能量发电微纳囊及采能阵列.授权日期:2019.12.25,中国,ZL201811425304.7.
3.段智勇,贾斌,李梦珂,马刘红,钟英辉,苏宇锋,郑国恒.一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法.授权日期:2019.12.18,中国,ZL201711217161.6.
4.段智勇,李求恩,马刘红,李梦珂,钟英辉,苏宇锋,郑国恒.一种低温掺杂调控热熔Ag金属纳米粒子微纳互连线性能的方法.授权日期:2019.06.28,中国,ZL201711214461.9.
5.段智勇,彭伟,苏宇锋,钟英辉,郑国恒,王文,王盼,蔡豫威.一种自供电流体输运管网漏点自动检测系统及方法.授权日期:2017.09.29,中国,ZL 201510718978.6.
6.段智勇,刘发永,苏宇锋,郑国恒,弓巧侠,刘显昱.一种双层齿轮互推旋转式纳米压电马达,授权日期:2016.4.6.中国,ZL201410134987.6.
7.段智勇,刘超然,苏宇锋,郑国恒,弓巧侠,压缩式气体施压纳米压印自适应施压活塞结构,授权日期:2015.7.1.中国, ZL 201310253776.X.
8.段智勇,李天昊,李冬雪,郑国恒,苏宇锋,弓巧侠,一种金属图形直接压印转移掩模板基板静电场力分离装置,授权日期2014.3.26,中国,ZL 201210298150.6.
9.段智勇,黄震,梁二军,郑国恒.一种压缩式气体施压方式的纳米压印装置,授权日期2012.12.26,中国,ZL201110101431.3.